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经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 云南 昆明 |
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徐兰安 先生
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发布时间:2021-11-13 13:34:01
无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。
24um线性膨胀,所以必须有±0。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
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无尘车间风量该如何计算?
根据工艺要求确定无尘车间的洁净度等级,并决定利用全室空气净化还是局部空气净化,根据表选型表确定空气气流型式,无尘车间净化空调的计算方法如下:
1.计算新风量,取下列两项中的大者,计算方法略;
(1)补偿室内排风量和保持正压值所需新鲜空气量之和。
(2)保证洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3/小时。
2.计算洁净室的冷热负荷;
3.计算送风量,取下列三项中的很大值,计算方法略;
(1)为保证空气洁净度等级的送风量。
(2)根据热.湿负荷计算确定的送风量。
(3)向洁净室内的供给的新鲜空气量(新风量)。
4.根据送风量,冷热负荷和选择的气流***形式,计算气流***各参数;
5.确定空气加热冷却的处理方案,用一次回风还是二次回风;
6.根据工业要求或气流***计算时确定的送风温差及室内外计算参数,在i-d图上确定各状态点,计算空调器处理风量,洁净室循环风量;
7.计算总冷热负荷,选择空气处理设备;
8.校核洁净室内的微粒浓度和***浓度。
C/R很怕的就是粒子泄漏。天花板中的滤网有很多种。例如层流式C/R而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板,这类型的天花板优点为,放置方式并没有严格的限制。C/R之墙壁还有一种是以薄钢制成,但必须在表层涂上一层保护层,否则亦会腐蚀,它并不容易电镀,而在表层涂上的保护层会变得易碎,很容易剥落,但若选择高质量的不锈钢,就不必涂上保护层7,而使用玻璃作的C/R会使得房间的光线大增,以及美观,但必须涂上一抗紫外线的障碍物,且可以视觉互通,较不会产生幽闭恐惧症。
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